8月8日上午天芯微半（bàn）導體首台先（xiān）進製程矽基外延設備首發儀式在高新區舉行

副（fù）市長周文棟，高新區黨工委副書記、管委會副主任、新（xīn）吳區委（wěi）副（fù）書記、區長章金偉，區領導洪延煒、華豔紅，無錫（xī）先導智能裝備股份有限公司董事長、先導集團董事長王燕清出席活動並共同啟動首發儀式。

（章金偉在致辭中表示）

集成電路是高（gāo）新區的優勢產業，產業規模突破了（le）千億大關（guān）。先導集團作為裝備製造和服務的龍頭企業，正在加快布局集成電路高（gāo）端設備（bèi）、關鍵（jiàn）材料。先導集成電路（lù）裝備（bèi）與（yǔ）材料產業園是高新區集成電路產業（yè）“5+X”新格局的重要環節，孵化出了天芯微等一批（pī）集成電（diàn）路行業明星企業。天芯微自成立以來，立足自主研發，全力攻克（kè）各項技術難題，產品達到國際先進水平，部分核心性能已經超過國際（jì）同類產（chǎn）品，取得了重大突破。高新區將堅定不移實施創新驅動核心戰略，進一（yī）步集成政策、優化服務、豐富生態，助推全區各類企業做大做強，加速打造國內一流、國際（jì）知名“6+2+X”現代產業體係，一如（rú）既往秉承“尊商、親商、安商、富商”理念，為企業發展提供（gòng）最有力的支持、最高效的服務、最全麵的保障，攜（xié）手譜（pǔ）寫合作共贏新篇章。

（王（wáng）燕清表示）

全球貿易市場、製造業領域（yù）風雲變幻，半導體核心裝備和材料的研發、製造尤為（wéi）不易，在無錫市、無錫高新區的關（guān）心和支持下，先導集成電路裝備和材料產（chǎn）業園已先後投資孵（fū）化了天芯微、微導納米、先為科技（jì）、元夫半導體、吳越（yuè）半導體等一大（dà）批優（yōu）質企業，其中微導納米於本月率（lǜ）先成功過（guò）會。目前，園區（qū）已經引進了20多個半導體（tǐ）高（gāo）端技術研（yán）發團（tuán）隊、150名以上核心科學家和博（bó）士隊伍以及數千（qiān）名高級應（yīng）用人才（cái），助力產業提升。

江蘇天（tiān）芯微半導體設備有限公司是先導集團旗下的一（yī）家集成電路高（gāo）端裝備製造商，公司核心團隊來（lái）自全球領先的半導體設備公司，擁有30年的先進半導體裝（zhuāng）備研發、製造經驗。公司以矽基外延技術為核（hé）心，致（zhì）力（lì）於半導體前道關鍵工藝（yì）設備的研發與製造，為集成電（diàn）路行（háng）業提（tí）供極具競爭力的高端設備和高品質的服務（wù）。

為了解決客戶痛點，滿足（zú）客戶（hù）需求，天芯微決定在高新區實（shí）施半導體外延設備（bèi）產業化項目，立誌於突破國際半導（dǎo）體設備巨頭在該領域的技術壁壘（lěi），保障業內（nèi）先進芯片（piàn）生產製造。

天芯微此次發布的Epi 300 Compass RP矽基外延減壓設備是半（bàn）導體前道工藝中的關鍵設（shè）備，廣（guǎng）泛（fàn）應用於功率器件、先進製程的（de）邏輯、存儲器件的生產製造。Epi 300 Compass RP的各項（xiàng）性能均達到了國際先進水平，部分（fèn）核心性（xìng）能已經超過國際同類產品，並得（dé）到了客戶的肯定。