3月20-22日，SEMICON CHINA 2024在上海新國際（jì）博覽（lǎn）中心盛大開幕。在這一（yī）全球半導體行業的（de）年度盛會上，ASEL天芯微作為先導集成電路產業園核心（xīn）成員（yuán），展（zhǎn）示了最新（xīn）的（de）產品（pǐn）技術（shù），吸引諸多海內外產（chǎn）業夥伴的關注。

減壓外延設備受關注，常（cháng）壓設備首次公開（kāi）亮相

天芯微是（shì）國內少（shǎo）數真正通過完全自主設計（jì）、研發、製造矽基外延設備（bèi）的企業之一，本次展會中（zhōng），旗下減壓外延設（shè）備Epi RP 300 Compass HP受（shòu）到產業鏈上下遊的關注（zhù）。該設備針（zhēn）對先進工藝製程的外延需求，應用於邏輯芯（xīn）片、功率及存儲器件的外延工藝，適用於（yú）矽（guī）、矽鍺、矽磷等外（wài）延生長材料（liào）。目前已經獲得多家12寸FAB廠的青（qīng）睞，整體性能媲美國際主流產品，並在部分核（hé）心參數上領（lǐng）先。

作為天芯微Compass HP平（píng）台的第二款產品，矽基（jī）常壓外延設備Epi ATM 300 Compass HP也迎來了展會首秀。該（gāi）設備繼承了Compass HP平台靈活調配生產配置的特性，憑借天芯微自研的壓控FRC技（jì）術及獨立多區進氣模組（zǔ），帶來了更高效的沉積速率和更可觀（guān）的膜（mó）厚及均一性。Epi ATM 300 Compass HP是適用於大矽片、功率器件和MEMS加工外延工藝的（de）創新解決方案。

致力（lì）於半導體（tǐ）高端（duān）前道設備的設計（jì）與製造，天芯微圍繞“國（guó）產化”不斷加強供應（yīng）鏈（liàn）的建設管（guǎn）理。此次SEMICON CHINA，天芯微邀請了諸多海內（nèi）外零部件供應商夥伴交流探討，攜手建立可持續，共發展的供應商（shāng）體（tǐ）係（xì），持續推動中國半導體設備的（de）發展和升級。